技术指标:最高温度：1150℃；
      恒温区长度：760mm；
      最大可控升温速度（400℃～ 1150℃）：15℃/min;
      最大降温速度（1150℃～ 900℃）：5℃/min。

应用领域:供4英寸硅片氧化、退火等工艺使用。