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OAI光刻机
2017年03月24日 15:31 陈小军 点击：[]
技术指标:
掩模版适用尺寸：五英寸；基片尺寸：4英寸及以下不规则形状基片；汞灯功率：350W；分辨率：2μm。
应用领域:
单面对准曝光。
