技术指标:1、极限真空5×10-4Pa。2、蒸发源：DZQ10/4磁偏转e型电子枪一套。功率：10KW，电压：6KV、10KV，束流：0～1A可调，坩埚数：4，坩埚容量：40ml。3、适合4英寸及以下各种规格基片。

应用领域:主要用沉积金属膜。