技术指标:极限真空8×10-4Pa；两个直径为100mm的磁控靶；一套直流靶电源，功率为1KW；一套13.56MHZ的射频电源，功率为1KW；样品尺寸：≤4英寸。

应用领域:主要用沉积金属膜和非金属膜。